真空爐石墨模具是一種專用于真空或惰性氣氛高溫環(huán)境下成型、燒結(jié)或熱處理工藝的特種模具,廣泛應(yīng)用于硬質(zhì)合金、粉末冶金、陶瓷、半導(dǎo)體、碳/碳復(fù)合材料及高溫合金等先進(jìn)材料的制造過程。其核心優(yōu)勢在于石墨材料優(yōu)異的高溫穩(wěn)定性、良好的導(dǎo)熱導(dǎo)電性、低熱膨脹系數(shù)以及出色的抗熱震性能,使其能在2000℃以上的極d條件下長期穩(wěn)定工作。
石墨模具通常由高純度、高密度、高強(qiáng)度的等靜壓石墨(如ISO 80、Morgan SGL系列)或模壓石墨加工而成,具有致密均勻的微觀結(jié)構(gòu),可有效減少雜質(zhì)揮發(fā)對產(chǎn)品純度的影響。在真空爐中,石墨模具不僅作為成型腔體承載物料,還常兼作發(fā)熱體或隔熱部件,實(shí)現(xiàn)高效、均勻的熱場分布。例如,在硬質(zhì)合金熱壓燒結(jié)中,石墨模具與樣品一同置于真空環(huán)境中,在高溫高壓下完成致密化;在單晶硅生長或碳纖維預(yù)制體碳化過程中,石墨模具則提供精確的幾何約束和熱傳導(dǎo)路徑。
真空爐石墨模具在多個工業(yè)領(lǐng)域中作為核心工藝裝備被廣泛應(yīng)用,具體應(yīng)用范圍如下:
一、高溫?zé)Y(jié)與熱處理領(lǐng)域
粉末冶金與硬質(zhì)合金燒結(jié)
石墨模具可承受2000℃以上高溫,用于真空熱壓爐中壓制粉末冶金制品(如鎢合金、鈦合金)和硬質(zhì)合金(如刀具、模具),確保材料致密化與尺寸精度。
典型應(yīng)用:硬質(zhì)合金燒結(jié)模具需在1450℃下加壓燒結(jié),石墨模具通過高導(dǎo)熱性實(shí)現(xiàn)均勻加熱,同時其自潤滑性減少脫模阻力,提升成品率。
陶瓷材料與玻璃制造
在陶瓷燒結(jié)中,石墨模具作為承燒板或成型模,利用其低熱膨脹系數(shù)防止開裂,并確保產(chǎn)品表面光潔度。
玻璃制造中,石墨模具用于生產(chǎn)玻璃管、彎管、異型瓶等,其耐熱沖擊性和化學(xué)惰性避免玻璃成分污染,且尺寸穩(wěn)定性高。
真空熱處理工藝
石墨模具作為支架或夾具,用于真空淬火、退火等工藝,支撐金屬工件并均勻傳導(dǎo)熱量,防止變形。
典型案例:航空航天零件的真空熱處理需嚴(yán)格控制溫度均勻性,石墨模具通過優(yōu)化設(shè)計(如蜂窩結(jié)構(gòu))提升熱傳導(dǎo)效率。
二、半導(dǎo)體與電子工業(yè)
單晶硅生長與加工
石墨坩堝用于單晶硅生長爐,需滿足超高純度(金屬雜質(zhì)<10 ppm)和低灰分(<0.1%),防止雜質(zhì)污染硅晶體。
石墨模具還用于硅片切割、拋光等工序的支撐與定位,確保加工精度。
電子器件封裝與測試
石墨模具作為熱沉材料,用于電子元件的散熱封裝,其高熱導(dǎo)率(>100 W/m·K)有效導(dǎo)出熱量,延長器件壽命。
在真空電子器件(如行波管、磁控管)制造中,石墨模具用于精密部件的成型與燒結(jié),確保電氣性能穩(wěn)定。
三、新能源與新材料領(lǐng)域
鋰電池負(fù)極材料燒結(jié)
石墨模具用于鋰電池負(fù)極材料(如石墨、硅碳復(fù)合材料)的真空燒結(jié),其化學(xué)穩(wěn)定性避免與材料反應(yīng),同時高導(dǎo)熱性縮短燒結(jié)周期。
典型需求:模具需耐受1200℃高溫,且表面粗糙度Ra<1.6μm,防止材料粘附。
碳纖維與復(fù)合材料加工
在碳纖維保溫材料、碳碳復(fù)合材料的石墨化處理中,石墨模具作為發(fā)熱體或支撐結(jié)構(gòu),需在2600–3000℃下長期穩(wěn)定工作。
例如:臥式真空石墨化爐中,石墨模具用于碳紙、石墨烯等材料的高溫處理,其高純度(>99.99%)避免雜質(zhì)引入。
四、航空航天與高d制造
高溫合金與鈦合金成型
石墨模具用于航空航天發(fā)動機(jī)葉片、渦輪盤等高溫合金零件的真空精密鑄造,其耐高溫性和低熱膨脹系數(shù)確保零件尺寸精度。
典型案例:鈦合金鑄造模具需承受1600℃硅熔體腐蝕,石墨模具通過表面涂層技術(shù)(如SiC涂層)提升抗氧化壽命。
熱防護(hù)系統(tǒng)與結(jié)構(gòu)件
石墨復(fù)合材料用于航天器熱防護(hù)系統(tǒng)(如再入艙表面),其輕質(zhì)高強(qiáng)特性減輕重量,同時耐高溫性能抵御大氣摩擦熱流。
石墨模具還用于制造火箭發(fā)動機(jī)噴嘴、燃燒室等關(guān)鍵部件,需滿足高壓(≥50 MPa)和極d溫度梯度(ΔT>500°C/min)要求。
五、化工與冶金行業(yè)
腐蝕性介質(zhì)環(huán)境應(yīng)用
石墨模具在化工設(shè)備中用于制造反應(yīng)釜、換熱器等,其耐腐蝕性(腐蝕速率<0.1 mm/年)適應(yīng)熔融金屬(如鋁液)、酸性氣體(如Cl?)等惡劣環(huán)境。
典型應(yīng)用:石墨舟皿用于光伏行業(yè)多晶硅還原爐,需具備高透氣性(孔隙率15–20%)以均勻輸送氣體。
有色金屬連續(xù)鑄造
石墨模具作為銅、鋁等有色金屬的連續(xù)鑄造或半連續(xù)鑄造模具,其導(dǎo)熱性和自潤滑性提升鑄錠質(zhì)量(表面光滑、結(jié)晶均勻),減少后續(xù)加工余量。
例如:立式連續(xù)鑄造法中,石墨模具使銅合金鑄錠生產(chǎn)效率提升30%,廢品率降低15%。